精工科技获得实用新型专利授权：“一种CVD工艺中的尾气处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示精工科技（002006）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种CVD工艺中的尾气处理装置”，专利申请号为CN202423133290.5，授权日为2025年11月4日。

专利摘要：一种CVD工艺中的尾气处理装置，属于尾气处理设备技术领域；包括沉积炉本体，所述沉积炉本体的顶部设置有连接管道，所述连接管道的另一端连接有中和箱，所述连接管道插入中和箱的一端横向贯穿中和箱内部设置，所述中和箱的底部设置有多个支腿；本实用新型通过在沉积炉本体与连接管道连接处设置集气罩，且在集气罩的外表面设置对其进行密封的检测盖，两者相互配个防止管道中H2发生泄漏，同时在检测盖上设置泄露检测器，当有H2发生泄漏时，能够及时发生警报，接着在中和箱内部设置刮料装置，且通过套圈设置在收纳槽内，且套圈侧面的多个辅助滚珠与收纳槽两侧的圆环箍相互接触，从而加高了套圈在收纳槽内的高度。

今年以来精工科技新获得专利授权81个，较去年同期增加了138.24%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6403.06万元，同比增22.95%。

通过天眼查大数据分析，浙江精工集成科技股份有限公司共对外投资了23家企业，参与招投标项目100次；财产线索方面有商标信息19条，专利信息662条，著作权信息81条；此外企业还拥有行政许可9个。

数据来源：天眼查APP

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